・用于微小工件的吸附确认。
・重复精度±2％F.S.。
・响应速度5ms以下，耐压500kPa。
・无润滑脂、符合RoHS。
・电压显示器 一台可对应全范围。
・相关元件：真空过滤器 ZFC050系列。
| 系列 | 额定流量范围（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
・用于微小工件的吸附确认。・重复精度2％F.S.。・响应速度5ms以下，耐压500kPa。・无润滑脂、符合RoHS。・电压显示器 一台可对应全范围。・相关元件：真空过滤器 ZFC050系列。系列额定流量范围（L/min）PFMV0～0.50～10～3
・用于微小工件的吸附确认。
・重复精度±2％F.S.。
・响应速度5ms以下，耐压500kPa。
・无润滑脂、符合RoHS。
・电压显示器 一台可对应全范围。
・相关元件：真空过滤器 ZFC050系列。
| 系列 | 额定流量范围（L/min） |
|---|---|
| PFMV | 0～0.5 0～1 0～3 －0.5～0.5 －1～1 －3～3 |
