・1位上安装2个3通阀的紧凑型集装式。
・采用插口连接（插入式接口连接的场合）
・可与可单独配线的阀混装。
| 系列 | 流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2a/2b→3（E） b | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV100 | 0.05 | 0.29 | 0.4（标准） 0.15（带节电回路） | －100kPa |
・1位上安装2个3通阀的紧凑型集装式。・采用插口连接（插入式接口连接的场合）・可与可单独配线的阀混装。系列流量特性2a/2b3（E）C［dm3/（ s・bar）］流量特性2a/2b3（E）b消耗功率（W）可真空使用VV1000.050.290.4（标
・1位上安装2个3通阀的紧凑型集装式。
・采用插口连接（插入式接口连接的场合）
・可与可单独配线的阀混装。
| 系列 | 流量特性 2a/2b→3（E） C［dm3/（ s・bar）］ | 流量特性 2a/2b→3（E） b | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV100 | 0.05 | 0.29 | 0.4（标准） 0.15（带节电回路） | －100kPa |
