・适合0603芯片。・响应速度：13msec（500mm时※）/18.5msec（1000mm时※）。・可实现无超调的平滑工件脱离。・无需调节真空、正压的切换时点。・不需要破坏空气的节流回路。・真空过滤器：ZFC050（订制规格）。