・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
| 系列 | 使用压力范围（Pa） | 使用流体 | 门尺寸 （高×宽）（mm） | 动作压力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大气压～1×10-6 | 惰性气体类的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。系列使用压力范围（Pa）使用流体门尺寸（高宽）（mm）动作压力（MPa）XGT大气压～110-6惰性气体类的真空3222246236503360.45～0.6
・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
| 系列 | 使用压力范围（Pa） | 使用流体 | 门尺寸 （高×宽）（mm） | 动作压力 （MPa） |
|---|---|---|---|---|
| XGT | 大气压～1×10-6 | 惰性气体类的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45～0.6 |
