・采用可更换滤芯的夹头型。
(SFA100・200・300，SFB100)
・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
(SFB300，SFC100)
| 形式 | 系列 | 使用压力 | 过滤精度 |
|---|---|---|---|
| 夹头型 圆盘式 | SFA100・200・300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 夹头型 直通式 | SFB100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 直通式 | SFB300 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
| 一次性型 多盘型 | SFC100 | 最高0.99MPa （真空：1.3×10-6kPa） | 0.01μm （捕捉效率99.99％） |
