・通过电流按比例无级控制流量。・重复精度:3%以下。・迟滞:10%以下。系列流量控制范围 L/min流体PVQ0~50~60~750~100空气、惰性气体
・通过电流按比例无级控制流量。
・重复精度:3%以下。
・迟滞:10%以下。