・将摆动气缸作为驱动源，缩短了高度方向的尺寸。
・重复操作精度 ±0.01mm。
・可对应洁净室等级10。
・带磁性开关（MDHR3系列：MDHR3）。
| 系列 | 气缸内径（mm） |
|---|---|
| MHR3 | 公称直径10，15 |
| MDHR3 | 公称直径10，15 |
・将摆动气缸作为驱动源，缩短了高度方向的尺寸。・重复操作精度 0.01mm。・可对应洁净室等级10。・带磁性开关（MDHR3系列：MDHR3）。系列气缸内径（mm）MHR3公称直径10，15MDHR3公称直径10，15
・将摆动气缸作为驱动源，缩短了高度方向的尺寸。
・重复操作精度 ±0.01mm。
・可对应洁净室等级10。
・带磁性开关（MDHR3系列：MDHR3）。
| 系列 | 气缸内径（mm） |
|---|---|
| MHR3 | 公称直径10，15 |
| MDHR3 | 公称直径10，15 |
