・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
・可作为气体的切断阀使用。
・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。
| 系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 气控型 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 小型 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。・可作为气体的切断阀使用。・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。系列形式主体材质配管连接配管尺寸AP气控型SUS316L二次熔炼面密封接头管焊接1/4'
・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。
・可作为气体的切断阀使用。
・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。
| 系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AP | 气控型 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
| AP | 小型 | SUS316L 二次熔炼 | 面密封接头 管焊接 | 1/4''，3/8'' 1/2''，3/4'' |
