・无气体积留的精密遗体铸造结构。
・铝制高真空L型阀,安装上具有与XL系列的互换性(XM系列)。
系列 | 操作方式 | 轴密封 方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰 尺寸 |
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XMA/XYA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用 (N.C.) | 主体:SCS13(相当于SUS304) 波纹管:SUS316L | 16~80 注) |
XMC/XYC | 气控· | 波纹管密封 | 双作用 | 主体:SCS13(相当于SUS304) 波纹管:SUS316L | 16~80 注) |
XMD/XYD | 气控 | 波纹管密封 O形圈密封 | 单作用 (N.C.) | 主体:SCS13(相当于SUS304) 波纹管:SUS316L | 25~80 |
XMH/XYH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 主体:SCS13(相当于SUS304) 波纹管:SUS316L | 16~50 注) |