・无气体积留的精密遗体铸造结构。
・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。
| 系列 | 操作方式 | 轴密封 方式 | 阀形式 | 材质 | 法兰 尺寸 |
|---|---|---|---|---|---|
| XMA/XYA | 气控 | 波纹管密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMC/XYC | 气控· | 波纹管密封 | 双作用 | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～80 注） |
| XMD/XYD | 气控 | 波纹管密封 O形圈密封 | 单作用 （N.C.） | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 25～80 |
| XMH/XYH | 手动 | 波纹管密封 | 手动 | 主体：SCS13（相当于SUS304） 波纹管：SUS316L | 16～50 注） |
