・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。
・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。
・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常闭 （加压开・弹簧密封） | 氮气、空气、 惰性气体等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。・初始供气、主給気可同时进行流量调节。系列阀形式使用流体配管连接方式配管尺寸XVD常闭（加压开・弹簧密封）氮气、空气、惰性气体等VCR®Swagelok®1/4B
・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。
・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。
・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XVD | 常闭 （加压开・弹簧密封） | 氮气、空气、 惰性气体等 | VCR® Swagelok® | 1/4B |
