・可在洁净室内使用的排气洁净器。
| 系列 | 过滤精度（μm） | 最大处理流量 L/min(ANR) | 接管口径 |
|---|---|---|---|
| AMP | 0.01（捕捉效率95％） | 200～1000 | 1/4，3/8，1/2，3/4 |
・可在洁净室内使用的排气洁净器。系列过滤精度（μm）最大处理流量 L/min(ANR)接管口径AMP0.01（捕捉效率95％）200～10001/4，3/8，1/2，3/4
・可在洁净室内使用的排气洁净器。
| 系列 | 过滤精度（μm） | 最大处理流量 L/min(ANR) | 接管口径 |
|---|---|---|---|
| AMP | 0.01（捕捉效率95％） | 200～1000 | 1/4，3/8，1/2，3/4 |
