・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间:设置面积减小23%
・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
---|---|---|---|---|---|
HRZD | -30~90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液(60%) |
・1台深冷器可分别控制2个系統・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能・省空间:设置面积减小23%・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統・符合SEMI规格、CE标识系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液H
・1台深冷器可分别控制2个系統
・双变频器:DC变频冷冻机与变频泵实现了大幅节能
・省空间:设置面积减小23%
・省配线、省空间、省工时:电源线缆只有1根,冷却水配管仅有1个系統
・符合SEMI规格、CE标识
系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
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HRZD | -30~90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 乙二醇水溶液(60%) |