・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能・温度范围和冷却能力范围大・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化・符合UL, SEMI规格及CE标识系列设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液HRZ－20～90℃
・在HRZ系列的高性能基础上，采用了DC变频压缩机，实现了节能
・温度范围和冷却能力范围大
・用于刷新循环块的半导体装置等，可平缓地对应过程条件的变化
・符合UL, SEMI规格及CE标识
| 系列 | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～90℃ 10～60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
