・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
| シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业・符合各种安全规格・符合UL, SEMI规格以及CE标识シリーズ设定温度范围冷却能力温度稳定性冷却方式循环液HRZ－20～40℃20～90℃－20～90℃1kW, 2kW4kW
・温度稳定性高、温度范围大、有故障诊断、外部通信等功能，广泛用于半导体行业
・符合各种安全规格
・符合UL, SEMI规格以及CE标识
| シリーズ | 设定温度 范围 | 冷却能力 | 温度 稳定性 | 冷却方式 | 循环液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | －20～40℃ 20～90℃ －20～90℃ | 1kW, 2kW 4kW, 8kW | ±0.1℃ | 水冷冷冻式 | 氟化液 清水 脱离子水（纯水） 乙二醇水溶液（60％） |
