・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。
・滤芯过滤面积大。
| 系列 | 连接口径 | 流量 L/min（ANR） | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|
| ZFA10 | 1/8 | 50 | 30 |
| ZFA20 | 1/4 | 200 | 30 |
・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。・滤芯过滤面积大。系列连接口径流量 L/min（ANR）过滤精度(μm)ZFA101/85030ZFA201/420030
・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。
・滤芯过滤面积大。
| 系列 | 连接口径 | 流量 L/min（ANR） | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|
| ZFA10 | 1/8 | 50 | 30 |
| ZFA20 | 1/4 | 200 | 30 |
