・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。
・配管可快速拆装。
| 系列 | 适合管子外径 公制 | 适合管子外径 英制 | 流量 L/min（ANR） | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|---|
| ZFB10 | φ4，φ6 | φ3/16，φ1/4 | 10～20 | 30 |
| ZFB20 | φ6，φ8 | φ1/4 | 30～50 | 30 |
| ZFB30 | φ8，φ10 | φ3/8 | 75 | 30 |
| ZFB40 | － | φ1/2 | 100 | 30 |
・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。・配管可快速拆装。系列适合管子外径 公制适合管子外径 英制流量 L/min（ANR）过滤精度(μm)ZFB10φ4，φ6φ3/16，φ1/410～2030ZFB20φ6，φ8φ1/430～5030ZF
・防止真空回路及空气中的污染物对元件设备造成影响。
・配管可快速拆装。
| 系列 | 适合管子外径 公制 | 适合管子外径 英制 | 流量 L/min（ANR） | 过滤精度(μm) |
|---|---|---|---|---|
| ZFB10 | φ4，φ6 | φ3/16，φ1/4 | 10～20 | 30 |
| ZFB20 | φ6，φ8 | φ1/4 | 30～50 | 30 |
| ZFB30 | φ8，φ10 | φ3/8 | 75 | 30 |
| ZFB40 | － | φ1/2 | 100 | 30 |
